Do dokładnego pozycjonowania stołów XY wykorzystywana jest technologia napędów serwo. Jak pokazano na pierwszej stronie, do stołu XY zamocowane są dwa silniki serwo, umożliwiające ruch w kierunkach X i Y.
Pracą obydwu silników serwo steruje produkt najnowszej technologii Mitsubishi Electric - wzmacniacz serwo MR-J4W2-B. Do obliczania trajektorii ruchu oraz interpolacji osi służy moduł prostego sterowania ruchem LD77MS.
Wykorzystując sterownik PLC serii L i jego wbudowane funkcje, można zaoferować kompletne rozwiązanie z mniejszą liczbą elementów. Dzięki sieci SSCNET III/H, wszystkie wewnętrzne parametry systemu serwo można ustawić bezpośrednio ze sterownika PLC.